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PI(Physik Instrumente)P-734 XY壓電掃描儀 通光孔徑56毫米 × 56毫米 電容式傳感器可實(shí)現(xiàn)小于0.4納米的分辨率 PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命
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*PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀 并聯(lián)測(cè)量技術(shù)可實(shí)現(xiàn)導(dǎo)向誤差的自動(dòng)化 補(bǔ)償 分辨率50皮米 行程5微米×5微米×5微米 真空兼容版本
德國(guó)PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀 X、Y向上的串?dāng)_(Z向運(yùn)動(dòng)) 5 - 納米 機(jī)械特性 X、Y向上的空載諧振頻率 3.1 4.2 千赫茲 Z向上的空載諧振頻率 9.8 - 千赫茲