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Physik Instrumente (PI)線性平臺
U-523PILine®線性平臺
特點:
快速定位
省空間和重量
導(dǎo)向精度高
傳感器分辨率高達10 nm
自鎖,靜止時不發(fā)熱
低噪音運行
精密級線性定位平臺
PILine®工作臺特別適合需要快速精確定位的應(yīng)用。關(guān)閉時,自鎖驅(qū)動器會保持平臺在機械上穩(wěn)定的位置。因此,能量消耗和熱量產(chǎn)生顯著減少。這些特性使電池供電或?qū)崦舾械牡驼伎毡葢?yīng)用受益。軸的位置由編碼器測量,光學(xué)參考開關(guān)可實現(xiàn)可靠的可重復(fù)運動。壓電驅(qū)動原理及其電氣操作成本低廉,可以定制。
使用增量編碼器進行高精度位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器可以高精度直接在平臺上測量位置。非線性,機械游隙或彈性變形對測量沒有影響。
PILine®超聲波壓電馬達
PILine®超聲波壓電電機的組成部分是壓電致動器,該壓電致動器通過一個耦合元件預(yù)加載在可移動的導(dǎo)向流道上。壓電陶瓷執(zhí)行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵而產(chǎn)生超聲振蕩。致動器的變形導(dǎo)致聯(lián)接元件相對于轉(zhuǎn)輪周期性的對角運動。每個周期產(chǎn)生的進料為幾納米。高頻導(dǎo)致高速。將壓電陶瓷執(zhí)行器預(yù)緊抵在轉(zhuǎn)輪上,可在靜止和關(guān)閉時確保驅(qū)動器自鎖。
應(yīng)用領(lǐng)域
顯微操作,自動化,生物技術(shù),樣品處理,樣品定位,空間有限的應(yīng)用,10 -6hPa的真空應(yīng)用(可選)。
寬度僅21毫米,高度僅10毫米
帶有集成增量編碼器的直接位置測量
編碼器分辨率高達1 nm
小增量運動可達2 nm
帶轉(zhuǎn)接板或支架的多軸系統(tǒng)設(shè)置(可選)
可根據(jù)要求提供 10 -6 hPa的真空版本
壓電慣性驅(qū)動
壓電慣性驅(qū)動器是節(jié)省空間且價格合理的基于壓電的驅(qū)動器,具有相對較高的夾持力和幾乎無限的行程范圍。慣性驅(qū)動原理基于單個壓電致動器,該壓電致動器由特殊驅(qū)動器電子設(shè)備提供的修改后的鋸齒電壓進行控制。執(zhí)行器緩慢膨脹并移動流道。由于其慣性,轉(zhuǎn)輪無法跟隨執(zhí)行器的后續(xù)快速收縮,并保持在其位置。驅(qū)動器的高工作頻率為20 kHz,直接作用在轉(zhuǎn)輪上并達到大速度。6毫米/秒
真空
可根據(jù)要求提供10 -6 hPa的真空版本。
直接測量原理
線性位移臺配有非接觸式測量光學(xué)線性編碼器和參考開關(guān)。分辨率為4 nm或1 nm,具體取決于版本。
應(yīng)用領(lǐng)域
微型裝配,光子學(xué),光學(xué)對準,顯微鏡,光束線儀器,半導(dǎo)體技術(shù),測試
行程范圍為±17毫米/±21°
設(shè)計緊湊
可移動磁性板
高動態(tài)和高精度
可自由編程的虛擬樞軸點
的使用壽命
六自由度的并聯(lián)運動學(xué)設(shè)計使其比串聯(lián)運動學(xué)系統(tǒng)更加緊湊和堅固,動態(tài)范圍更大,電纜沒有移動:更高的可靠性,減少了摩擦
無刷直流電機(BLDC)
無刷直流電動機特別適合于高轉(zhuǎn)速??梢苑浅>_地控制它們并確保高精度。由于無需滑動觸點,因此它們運行平穩(wěn),無磨損,因此使用壽命長。
應(yīng)用領(lǐng)域
研究和工業(yè),微制造,光纖對準和光學(xué)組件的對準。
廣泛的軟件包
供貨范圍內(nèi)提供的軟件包允許將系統(tǒng)集成到幾乎所有環(huán)境中。支持所有常見的操作系統(tǒng),例如Windows,Linux和macOS,以及許多常見的編程語言,包括Python,MATLAB和NI LabVIEW。得益于復(fù)雜的程序示例和軟件工具(如PIMikroMove)的使用,開始集成和生產(chǎn)操作之間的時間大大縮短了。
可移動磁性板
加快您的工作流程。下一個工件可以平行于我們的自動化處理步驟進行準備??刹鹦洞判园鍩o需工具即可快速拆卸,然后每次都可以準確地重新組裝。
PI P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器
特點:
緊湊:表面44毫米×44毫米
行程范圍為120 µm×120 µm
分辨率至0.2 nm
特別便宜的系統(tǒng)(機械和控制器)
零間隙,高精度撓曲導(dǎo)向系統(tǒng)
PICMA®壓電執(zhí)行器,使用壽命長
也提供線性和Z載物臺,以及XYZ版本
應(yīng)用領(lǐng)域:
干涉儀
顯微鏡檢查
納米定位
生物技術(shù)
測試程序和質(zhì)量保證
光子學(xué)
光纖定位
半導(dǎo)體技術(shù)
零游隙撓性導(dǎo)軌,導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護,無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力,并且沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。
PICMA®壓電執(zhí)行器,使用壽命長
獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明,沒有單一故障的1000億次循環(huán)。
Physik Instrumente (PI)線性平臺